فلومتر جرمی حرارتی از اصل پراکندگی حرارتی استفاده می کنند که به موجب آن سرعت گرمای جذب شده توسط مایعی که در لوله یا مجاری جریان دارد مستقیماً با فلومتر جرمی آن متناسب است. در یک جریان حرارتی معمولی ، گاز که از منبع گرما جریان می یابد ، گرما را جذب می کند و منبع را خنک می کند.